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    OLYMPUS奥林巴斯 OLS5100 显微镜解决方案

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    OLYMPUS奥林巴斯 OLS5100 显微镜解决方案



    LEXT OLS5100 3D激光扫描显微镜

    用于材料分析的激光显微镜

    智能工作流程,更快地完成实验

    OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计,将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合,使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的数据。

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    3D显微镜
    物镜系列
    传统物镜很难在边缘区域进行准确测量。

    传统物镜很难在边缘区域进行准确测量。

    专用的LEXT物镜可准确测量边缘区域

    专用的LEXT物镜可准确测量边缘区域。

    有保证的测量准确度

    LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。 与Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)配合使用,可以获得值得信赖的准确数据。

    • 有保证的测量准确度
    • 10倍至100倍物镜可减少405 nm波长的像差,在整个视场中捕捉样品的真实形貌。
    • Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)有助于为粗糙度测量选择合适的物镜

    易于操作的激光扫描显微镜

    通过精心设计的软件,新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。

    • 轻松获取准确数据:将样品放在载物台上,然后按下“开始”按钮即可
    • 在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果*。

    本网页上的信息(包括保证的准确度)均基于Evident设定的条件。

    材料工程和失效分析实验更轻松

    智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化,使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。

    • 利用宏功能实现分析工作流程的自动化
    • 测量数据易于整理
    • 将数据自动填充到实验计划矩阵中,减少了输入错误的几率
    • 测量结果以列表形式显示,一眼就能做出通过/不通过的判断。

    可以信赖的服务和支持

    从校准到培训,我们提供各种服务组合,帮助您的设备保持出色的性能。 Evident的服务合同:

    • 简单明了 — 让您专注于核心业务
    • 高效服务 — 我们可为您安排预防性维护,包括校准
    • 高性价比 — 在整个合同期内为您节省成本

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    主机规格

    型号OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
    综合倍率

    54x ~ 17280x

    视场

    16 µm ~ 5,120 µm

    测量原理光学系统反射型共聚焦激光扫描(激光)显微镜
    反射型共聚焦激光扫描(激光-DIC)显微镜
    彩色
    彩色-DIC

    光接收元件激光:光电倍增管(2通道)
    彩色:CMOS彩色相机
    高度测量显示分辨率0.5 nm

    动态范围16位

    可重复性σn-1*1 *2 *55X:0.45μm,10X:0.1μm,20X:0.03μm,50X:0.012μm,100X:0.012μm

    准确度 *1 *3 *50.15 + L/100 μm(L:测量长度[μm])

    拼接图像准确度 *1 *3 *510X:5.0+L/100 μm;20X或更高:1.0+L/100 μm(L:拼接长度[μm])

    测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *51 nm(典型值)
    宽度测量显示分辨率1 nm

    可重复性3σn-1  *1 *2 *5 

    5X:0.4μm,10X:0.2μm,20X:0.05μm,50X:0.04μm,100X:0.02μm


    准确度 *1 *3 *5测量值+/- 1.5%

    拼接图像准确度 *1 *3 *510X:24+0.5L μm;20X:15+0.5L μm;50X:9+0.5L μm;100X: 7+0.5L μm(L:拼接长度[mm])
    单次测量时最大测量点数量

    4096 × 4096像素

    最大测量点数量

    3600万像素

    XY载物台配置长度测量模块不适用不适用

    工作范围

    100 × 100 mm电动

    100 × 100 mm 手动

    300 × 300 mm 电动

    100 × 100 mm 电动

    最大样品高度

    100 mm

    40 mm

    37 mm

    210 mm

    激光光源波长405 nm

    最大输出0.95 mW

    激光分类2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014*6
    彩色光源白光LED灯
    电气功率240 W240 W278 W240 W
    质量显微镜主体约重31 kg约重32 kg约重50 kg约重43 kg

    控制盒约重12 kg

    *1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求(温度:20℃±1℃,湿度:50%±10%)。
    *2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更高时。
    *3 在使用专用LEXT物镜测量时。
    *4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值,可能与保证值不同。
    *5 在Evident认证体系下有保证。
    *6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。

    ** Evident提供的显微镜控制器已获得Window 10操作系统许可证。因此,Microsoft的许可条款适用,并且您要同意这些条款。



    物镜

    系列型号数值孔径(NA)工作距离(WD)(mm)
    UIS2物镜MPLFLN2.5X0.0810.7
    MPLFLN5X0.1520
    专用LEXT物镜(10X)MPLFLN10XLEXT0.310.4
    专用LEXT物镜(高分辨率)MPLAPON20XLEXT0.61
    MPLAPON50XLEXT0.950.35
    MPLAPON100XLEXT0.950.35
    专用LEXT物镜(长工作距离型)LMPLFLN20XLEXT0.456.5
    LMPLFLN50XLEXT0.65.2
    LMPLFLN100XLEXT0.83.4
    超长工作距离物镜SLMPLN20X0.2525
    SLMPLN50X0.3518
    SLMPLN100X0.67.6
    长工作距离LCD物镜LCPLFLN20XLCD0.458.3-7.4
    LCPLFLN50XLCD0.73.0-2.2
    LCPLFLN100XLCD0.851.2-0.9

    应用软件

    标准软件OLS51-BSW

    数据采集应用程序分析应用程序(简单分析)
    电动载物台软件包应用程序*1OLS50-S-MSP
    高级分析应用程序*2OLS50-S-AA
    薄膜厚度测量应用程序OLS50-S-FT
    自动边缘测量应用程序OLS50-S-ED
    颗粒分析应用程序OLS50-S-PA
    实验流辅助应用程序OLS51-S-ETA 
    球体/圆柱体表面角度分析应用程序OLS50-S-SA 

    *1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
    *2 包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。


    Evident激光显微镜

    OLS5000-SAF配置示例

    OLS5100-SAF配置示例

    OLS5100-SAF

    • 100 mm手动载物台
    • 最大样品高度:100 mm

    OLS5000-SAF

    OLS5000-SAF - 尺寸

    OLS5100-EAF

    • 100 mm电动载物台
    • 最大样品高度:210 mm

    OLS5000-EAF

    OLS5000-EAF - 尺寸

    OLS5100-SMF

    • 100 mm电动载物台
    • 最大样品高度:40 mm

    OLS5000-SMF

    OLS5000-SMF - 尺寸


    OLS5100-LAF

    • 300 mm电动载物台
    • 最大样品高度:37 mm

    OLS5000-LAF

    OLS5000-LAF - 尺寸

    控制单元

    PC机和控制单元 - 尺寸




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    常见问题

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